技術參數(shù)：

  u MAX大測量長度: 25mm

  u 直線度測量精度:  0.4μm

  u 濾波器:  高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996），RC濾波器

  u 截止波長: 0.25，0.8，2.5       

  u 測量重復性:  4%

  u 相對示值誤差: ±7%

  u 測量長度:  λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm）

  u 測量范圍:   640μm

    u 分辨率 ：  0.001μm

  u 測量速度：  0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s

  u 返回速度：  1mm/s（自動）

  u 測量方式：傳感器移動式

  u 主機重量：約200Kg

  u 主機尺寸：長（1600mm）х寬(700mm)х高 (1400mm)