技術(shù)參數(shù)：
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評(píng)定參數(shù) |
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評(píng)定參數(shù) |
Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
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測(cè)量范圍 |
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Z軸 |
800μm |
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X軸 |
50mm |
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直線度精度 |
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直線度精度 |
0.4μm |
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分辨率（Z軸） |
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分辨率（Z軸） |
0.001μm |
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采樣數(shù)/分解能 |
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采樣數(shù)/分解能 |
9600點(diǎn)/16bit |
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濾波器 |
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濾波器 |
高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996），2RC濾波器 |
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取樣長度 |
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取樣長度 |
λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm） |
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截止波長 |
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截止波長 |
0.25,0.8,2.5 |
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測(cè)量速度 |
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測(cè)量速度 |
0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s |
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返回速度 |
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返回速度 |
（自動(dòng)） 1mm/s |
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示值誤差 |
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示值誤差 |
±5% |
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示值穩(wěn)定性 |
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示值穩(wěn)定性 |
3% |
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測(cè)量重復(fù)性 |
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測(cè)量重復(fù)性 |
3% |
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圖形放大倍率 |
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圖形放大倍率 |
10-500000自動(dòng)調(diào)整 |
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傳感器 |
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傳感器 |
針尖 R=2μm鉆石（測(cè)量力1mN） |
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R=5μm鉆石(測(cè)量力4mN） |
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