項(xiàng)目

DMC95A

測(cè)量范圍

Z 軸

（垂直）

160μm

X 軸

（水平）

17.5mm

分辨率

Z 軸

（垂直）

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

測(cè)量項(xiàng)目

參數(shù)

Ra    Rz==Ry(JIS)      Rq    Rt==Rmax

Rp    Rv    R3z  R3y  Rz(JIS)

Rs     Rsk   Rku  Rsm Rmr

標(biāo)準(zhǔn)

ISO,ANSI,DIN,JIS

圖形

支承率曲線，

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長(zhǎng)度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評(píng)定長(zhǎng)度（ln）

Ln= lr×n n=1~5

傳感器

測(cè)量原理

位移式差動(dòng)電感

觸針

天然金剛石，90 錐角，5μm 針尖半徑

測(cè)力

<4mN

導(dǎo)頭

硬質(zhì)合金，滑行方向半徑 40mm

滑行速度

lr=0.25,    Vt=0.135mm/s

lr=0.8,      Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,     Vt=1mm/s

返回         Vt=1mm/s

示值誤差

不大于±10%

示值變動(dòng)性

不大于 6%

電源

內(nèi)置鋰離子充電電池，用 DC5V,800mA 充電器充電

外形尺寸

141×55×40mm

重量

約 400g

工作環(huán)境

溫度：- 20℃ ~      40℃；濕度：< 90% RH

儲(chǔ)存運(yùn)輸環(huán)境

溫度：- 40℃ ~       60℃；濕度：< 90% RH