產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

• 光學(xué)Zoom：1×，（0.75×，0.5×可選）
• 影像系統(tǒng)：1024×1024
• 干涉物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×
• XY平臺(tái)移動(dòng)范圍：140×110mm
• 控制方式：電動(dòng)
• Z軸行程：100mm
• Z向掃描范圍：10mm
• Z向掃描速度：>45μm/s
• Z向分辨率：0.1nm
• 可測(cè)樣品反射率：0.05%-100%
• 水平調(diào)整：±5°，手動(dòng)
• 粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
• 臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度＜0.7%，重復(fù)性＜0.1% 1σ
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